真空機組是由多臺真空泵及附件組成的成套真空獲得設(shè)備。羅茨真空泵機組中一般有粗抽泵(預(yù)抽泵)、前級泵、主抽泵和維持泵。

　　粗抽泵從大氣壓開始降低系統(tǒng)壓力，一直運行到另一抽氣泵可以開始工作。前級泵是用來維持另一個真空泵的前級壓力在臨界前級壓力以下的真空度，前級泵也可以作為粗抽泵用。羅茨真空泵機組對前級壓力有要求，需要配前級泵，以維持其前級壓力低于要求值。有些泵不能從大氣壓力開始工作，需要配粗抽泵，達到預(yù)真空要求才能開始工作。如普通羅茨泵、分子泵、擴散泵、離子泵等真空泵，都需要配置粗抽泵和前級泵才能正常工作。

　　主抽泵(主泵)是機組中抽速大、真空度高的真空泵，是真空機組獲得高真空度的真空泵。對于主泵來說，其他泵都可以算作其前級泵。
　　羅茨真空泵機組中有時氣體量很小，不能完全利用主泵的大抽速，為此配置抽速較小的輔助前級泵維持主泵正常工作或維持已抽容器的工作真空，這種泵稱為維持泵。維持泵的使用主要是從經(jīng)濟環(huán)保的角度考慮的。
　　羅茨真空泵機組各組成泵之間取長補短、相互配合，在抽速和真空度上都比單個的真空泵有很大提高。根據(jù)需要還可以啟動不同的泵或組合，從而能夠滿足多種要求。非耀真空泵廠家從使用方便、安.全等多角度出發(fā)，生產(chǎn)的羅茨真空機組一般都配有真空閥門、充氣閥、波紋管、機架、冷卻水管路、斷水保護、真空繼電器、電器控制設(shè)備等。